中国科学院空天院高精度压力传感器生产超净间

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邢艳荣是航天学院高精度压力传感器团队的实验员。 春节假期，她和同事们要“泡”在实验室的洁净室里，加班加点地完成压力传感器芯片的生产。

“春节前夕，我国中东部地区出现大范围持续雨雪冰冻天气，各地气象部门紧急采购便携式自动气象站、微型自动气象站等，我们团队需要加班加点，确保气象压力传感器芯片的顺利生产和交付。” 航天研究院研究员、高精度压力传感器团队负责人王俊波告诉科技日报记者。

每月生产近6,000颗芯片

穿上干净的衣服、戴上防护帽和橡胶手套，在风淋室里“吹”去灰尘后，记者跟随邢艳荣来到实验室内进行压力传感器芯片生产的超净室。

这里，伴随着各种高精度仪器的嗡嗡声，邢艳荣和同事们开始了光刻机的工作。 光刻是制造芯片的关键步骤。 邢艳荣将硅片放入机器的凹槽中。 设备启动后，将按照预先设计的工艺参数进行光刻。

光刻的结果不会立即出现。 要检验光刻技术的有效性，还有一个关键环节——显影。 “这就是显影器，就像以前冲照片一样，网格里面有肉眼能看到的色线，当色线消失时，显影就结束了。” 邢艳荣一边操作一边向记者解释。

邢艳蓉是两个孩子的母亲。 老大正在读初三，正是中考的关键时期。 对于春节加班，她没有任何怨言。

“不只是我，我的同事们也在努力工作。比如住在燕郊的同事，因为赶不上最晚的班车，晚上不能回家，只能在办公室休息。 ” 邢艳荣表示，“大家都希望尽快完成压力传感器芯片的生产任务，确保订单能够按时交付。”

从晶圆到最终的芯片，要经过清洗、光刻、显影、蚀刻等多个步骤。 邢彦荣和他的同事每周加工8-10片晶圆，每月生产近6000个高精度压力传感器芯片。

压力传感器是一种可以测量压力并将其转换成可测量的电信号的装置或装置。 高精度压力传感器是航空航天、工业控制高端设备的核心部件。

“芯片是压力传感器的核心，芯片的处理水平是压力传感器高精度的重要保证。压力传感器的精度决定了工业测控的精度。例如，在在气象领域，高精度压力传感器可以更准确地预测天气变化。” 航天研究院研究员、高精度压力传感器团队技术负责人陈德勇说。

服务国家需要，责无旁贷

过去，我国的高精度压力传感器几乎全部依赖进口。 航天所高精度压力传感器团队花费数十年时间，不仅实现了核心部件国产化，突破了层层技术壁垒，还将压力传感器的精度提高到了万分之一。

“这意味着，如果飞机在10000米的高度飞行，精度为1/10000的压力传感器的误差仅在1米以内。” 王俊波表示，精度达到1/10,000的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠。 ，是我国必须牢牢掌握在自己手中的一项关键核心技术。

“压力传感器本身是受温度影响的，当温度快速变化的时候，传感器可能跟不上温度的变化。我们现在做的传感器采用了两个谐振器，两个谐振器放置的距离非常近对温度变化的响应几乎是一样的，通过这种微分方法，我们可以大大减少温度跟随误差。在这一点上，没有国外的。” 陈德勇对自己设计的产品充满信心。

作为团队的技术带头人，陈德勇在压力传感器领域持续研究近30年。 开发了三大类十余种不同工作机理的传感器产品，并解决了应用过程中出现的一系列工程难题和批量生产。 制造问题。

“放假期间我一直在值班，因为生产线不能停，生产设备必须正常工作。我每天都来这里检查，看看水、电、煤气是否正常工作。” 王俊波认为，牺牲假期是一种满足感。 国家需要，工作缺一不可。

“我认为国家的需求是对我们科研人员最大的认可。” 王俊波希望自己的产品能够更好地满足国家需求，从而为实现高水平科技自力更生做出贡献。